HPGR-400 Series
HPGR-400 Series
Products > Valves > Regulators

Applications

Semiconductor, Research Laps 

Features

Point-of-Use 
Free Poppet / Tied Diaphragm Type 
10 Ra or 5 Ra Microinch Internal Surface 
Metal to metal body to diaphragm seal 
Low particle entrapment 

Specifications

- Maximum Inlet Pressure : 
  600 psig (41bars) and 3500psig (241barg) 
- Outlet Pressure Range : 
  1-30psig (1-2.1barg), 1-60psig (1-4.2barg), 
  1-100psig (1-7.0barg), 1-150psig (1-10.5bargs), 
  1-250psig (1-17.5barg) 
- Operating Temperature Range : 
  -40℉ (-40℃) to 350℉ (177℃)