HPGR-400&800 Series
HPGR-400&800 Series
Products > Valves > Regulators

Applications

Ultra High Pure Gas Line, Semiconductor Hook-Up Line, Bulk Gas Line

Features

Metal to Metal Diaphragm Seals Leak Tight Integrity
Internal Surface EP 10 Ra or 5 Ra micro-inch
All Performed in Class 10 Clean Room
Available for Semiconductor Applications

Specifications

- Maximum Inlet Pressure : 
  600 psig (41 bar)
- Outlet Pressure Range : 
  0-60 psig (0-4 bar), 0-100 psig (0-7 bar), 
  0-150 psig (0-10 bar), 0-250 psig (1-17 bar)
- Operating Temperature Range : 
  -15℉ (-26℃) to 176℉ (80℃)